专利择要显示，本发明公开了一种立式沉积炉，包括：炉体和石墨架体。石墨架体设置于沉积腔内，预制体置于石墨架体上，石墨架体沿竖直方向开设有多少个孔道构造，孔道构造包括相连的增速段和扩散段，增速段与进气通道连通，扩散段与沉积腔连通，扩散段的直径自下而上递增，碳源气体自进气通道通入，在增速段内提高流速，在扩散段的出口处增大与预制体的打仗面积。该石墨架体的设置，通过增加碳源气体的通路，改变沉积腔内碳源气体入口的流量和流速，从而有效避免了炉底区域预制体表面炭黑和结壳征象的产生。同时通过增加碳源气体走向与预制体表面的打仗面积，有利于碳源气体在预制体内部的扩散和沉积，提高炭沉积后产品的整体密度的均一性。
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