沉积

北京天仁道和申请立式沉积炉专利有效避免炉底预制体外面炭黑和结壳现象

专利择要显示，本发明公开了一种立式沉积炉，包括：炉体和石墨架体。石墨架体设置于沉积腔内，预制体置于石墨架体上，石墨架体沿竖直方向开设有多少个孔道构造，孔道构造包括相连的增速段和扩散段，增速段与进气通道连通，扩散段与沉积腔连通...

duote1232024-12-17

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