半导体清洁室的空气环境哀求非常严格,紧张在于掌握微粒和浮尘,在半导体材料无尘车间中,100级清洁度标准被视为最高级别的清洁度哀求。
这一级别对空气中的颗粒物浓度有着非常严格的哀求,即每立方英寸空气中粒度即是或高于0.5μm的颗粒总数不得超过100个。
除此之外,微生物的存在也受到严格限定,哀求完备无微生物存在。
比较之下,1000级清洁度标准相对宽松一些。
在这一级别下,每立方米空气中大于即是0.5μm的灰尘颗粒不得超过1000颗。
对付微生物的哀求也相对较低,许可存在一定数量的微生物,以此类推。
西递设计中核心区域可以概括为:

大背景环境的空气清洁等级可设置为千级(ISO 6级);光刻等分外区域的空气净化等级可设置为十级(ISO 4级);

为预防交叉传染,在半导体芯片制造的无尘车间中,CEIDI西递设计师会依据人流和物流的净化流向,进行精确的布局和配套系统设计。
以下是详细的净化流程和规定:

事情职员的净化路线为:入口→换鞋→改换外出服→洗澡→清洁走廊→二次洗澡→换清洁服→风淋室→清洁生产区。

物品的净化路线为:入口→质料库→粗清洁→通报窗→精悍净→通报窗→清洁生产区→通报窗→包装→成品库。

江苏张家港半导体芯片制造无尘车间装修要求

所有核心区及赞助区的培植乃至空气流向的各技能设计方案都是环绕这两个净化路径开展。
此外,半导体芯片制造无尘车间对恒温恒湿温掌握哀求苛刻,对温湿度、静电处理等也有严格规定。
在半导体清洁室中,相对湿度的目标值大约掌握在30至50%的范围内,许可偏差在±1%的狭窄范围内,并且须要利用额外的掌握装置以限定静电荷的积累。
还须确保净化无尘车间内清洁、易清扫、防止内外污染,防止微粒产生、滞留和积存。

在无尘车间内,为确保空气质量和正压,还须要确保足够的新鲜空气供应。
详细来说,新鲜空宇量的需求包括两部分:首先,为了补偿室内排风量和坚持正压,须要引入相应的新鲜空宇量。
其次,必须担保每个在清洁室内的事情职员每小时都能得到至少40立方米的新鲜空气。
此外,净化空调系统的加热器应具备新风功能,并在超温时自动断电,以防止设备破坏。
如果采取加湿功能,应设置无水保护装置,避免因缺水而造成的设备破坏。

EPC工程(总承包)集成做事商CEIDI西递在业界有着卓越的荣誉和丰富的履历。
在半导体芯片制造无尘车间装修领域,能够针对不同客户的需求,供应个性化的设计理念和施工方案。
有须要的企业可以登录上海西递实业有限公司官网理解咨询。